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访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电 题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者 李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”

　　说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)

广东2022年空气质量总体优良 地表水优良率达92.6%******

　　环境优美的广州南沙（资料图）　南沙区政府 供图

　　中新网广州1月10日电 (记者王坚)据广东省生态环境厅10日消息，2022年全省大气和水环境质量稳中向好，其中，全省空气质量总体优良，全省PM2.5平均浓度再创新低，连续3年达到世卫组织第二阶段目标(25微克/立方米)；全省地表水优良率达92.6%，连续2年实现90%以上达优，县级以上在用集中式饮用水源水质继续保持100%达标率。

　　广东省生态环境厅生态环境监测处处长林文介绍，2022年，全省空气质量总体优良，6项污染物年均评价浓度均达到国家二级标准，AQI达标率为91.3%；区县方面空气质量普遍改善。

　　同时，全省89个地级以上市在用集中式饮用水源和77个县级行政单位及经济技术开发区所在城镇在用集中式饮用水源水质达标率继续保持100%；149个地表水国考断面水质优良率为92.6%，同比上升2.1个百分点，12个断面水质由Ⅲ类改善为Ⅱ类优，5个断面水质由Ⅳ类改善为Ⅲ类良，2个劣Ⅴ类国考断面全部消劣。

　　深圳一处环境优美的河道(资料图) 王坚 摄

　　“按照国家的初审数据，2022年广东省国考断面水质优良比例为92.6%、劣Ⅴ类比例为0，超额完成国家下达的年度工作任务和‘十四五’目标任务。”广东省生态环境厅水生态环境处处长李新科表示，接下来，该省将推动重点国考断面攻坚，持续巩固潮州市枫江深坑、揭阳市练江青洋山桥2个断面消劣成效，针对不稳定达标断面，指导推动各地精准精细治污；并抓好重点时段水污染防治以及重点污染指标管控；同时，抓重点治水工程建设，坚持控源截污为主线，建立攻坚断面的重点工程、重点措施清单，减少入河污染负荷。

　　林文表示，2023年广东将加快完善生态环境监测网络建设，包括开展工业园区VOCs自动监测站建设，推进跨市交接断面、重点河流断面支流通量监测，加强饮用水源、工业园区预警监测，完善功能区声环境监测网络建设等。此外，还将优化省级土壤环境监测网络，推进地下水监测井规范化建设。(完)

　　（文图：赵筱尘 巫邓炎）